Тепловий масовий витратомір газу розроблений на основі теплової дисперсії і використовує метод постійного перепаду температур для вимірювання витрати газу. Він має переваги невеликих розмірів, простоти монтажу, високої надійності та високої точності вимірювання тощо.
Витратомір містить два платинові датчики температури опору.
Тепловий принцип працює за рахунок моніторингу охолоджуючого ефекту газового потоку при проходженні над нагрітим датчиком. Газ, що протікає через чутливу секцію, проходить над двома датчиками, один з яких використовується традиційно як датчик температури, а інший - як нагрівач. Датчик температури відстежує фактичні значення процесу, в той час як нагрівач підтримує постійну різницю температур, змінюючи потужність, що споживається датчиком. Чим більша швидкість газу, тим більший ефект охолодження і потужність, необхідна для підтримання різниці температур. Таким чином, виміряна потужність нагрівача є мірою масової витрати газу.